5-osni glodani keramički izolatori za poluvodičku opremu i čiste sobe

U svijetu proizvodnje poluvodiča i čistih soba s visokim ulozima, svaka komponenta mora pružati besprijekorne performanse.PFT, specijalizirani smo za izradu rukotvorina5-osni glodani keramički izolatorikoji redefiniraju preciznost i pouzdanost. S više od 20Zahvaljujući dugogodišnjem iskustvu, naša rješenja su projektirana kako bi zadovoljila visoke zahtjeve poluvodičke opreme, osiguravajući toplinsku stabilnost, električnu izolaciju i rad bez kontaminacije u ultraosjetljivim okruženjima.

Zašto odabrati naše keramičke izolatore glodane s 5 osi?

1.Napredne proizvodne mogućnosti

Naš objekt je opremljen sanajsuvremenije 5-osne CNC glodalice, što omogućuje mikronsku točnost u oblikovanju napredne keramike poput aluminijevog oksida (Al₂O₃), silicijevog karbida (SiC) i aluminijevog nitrida (AlN). Za razliku od konvencionalnih metoda, 5-osna obrada omogućuje složene geometrije - ključne za komponente poput igli za podizanje pločica, dijelova komore za taloženje i izolatora otpornih na plazmu.

Ključne značajke:

•Preciznost:Tolerancija od ±0,005 mm za besprijekornu integraciju u ASML litografske alate ili Lam Research sustave za jetkanje.
•Svestranost materijala:Optimizirano za 99,8% aluminijevog oksida, visokočisti SiC i drugu naprednu keramiku.
•Površinska obrada:Ra <0,2 μm za minimiziranje stvaranja čestica u čistim sobama ISO klase 1.

2.Vlasnički procesni inženjering

Naši inženjeri su razvilikontrole procesa u zatvorenoj petljikoji se prilagođavaju krhkosti keramike tijekom obrade. Kombiniranjem tehnika suhog glodanja s prigušivanjem vibracija u stvarnom vremenu postižemo površine bez pukotina i produljeni vijek trajanja komponenti - čak i pod ekstremnim termičkim ciklusima (do 1600 °C).

Inovacije u fokusu:

•Protokoli za ublažavanje stresa:Minimizirajte mikropukotine u AlN izolatorima za CVD primjene.
•Obrada nakon strojne obrade:HIP (vruće izostatsko prešanje) povećava gustoću i otpornost na koroziju.

3.Strogo osiguranje kvalitete

Svaki izolator prolazi kroz12-fazni pregled, uključujući:

•CMM (koordinatni mjerni stroj)validacija kritičnih dimenzija.
•Ispitivanje curenja helijaza kompatibilnost s vakuumom.
•EDS (energetski disperzivna rendgenska spektroskopija)kako bi se provjerila čistoća materijala.

NašeSustav certificiran prema ISO 9001/14001osigurava sljedivost od nabave sirovina (nabavljenih od dobavljača Tier 1 poput CoorsTeka) do konačnog pakiranja.

Primjene: Gdje se preciznost susreće s performansama

Naši izolatori su pouzdani u:

•Alati za jetkanje i taloženje:Komponente obložene SiC-om za otpornost na plazmu u modulima Applied Materials™.
•Ionski implantatori:Aluminijski klinovi za podizanje s antistatičkim premazima za sprječavanje klizanja pločice.
•Mjeriteljski sustavi:Izolatori s niskim toplinskim širenjem za EUV litografske stoliće.

Studija slučaja:Vodeći proizvođač originalne opreme za poluvodiče smanjio je zastoj alata za 40% nakon prelaska na naše posebno dizajnirane SiC tuševe, koji su nadmašili konkurentske dijelove u obradi 300 mm pločica.

Više od proizvodnje: Partnerski pristup

•Brza izrada prototipa:Pošaljite svoje CAD datoteke i primit ćete funkcionalne prototipove u roku od 7 dana.
•Pakiranje za čiste prostore na licu mjesta:Opcionalna montaža čiste sobe klase 10 za izravnu integraciju alata.
•Doživotna tehnička podrška:Naši inženjeri pružaju analizu istrošenosti i usluge ponovne strojne obrade kako bi produžili vijek trajanja komponenti.